GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂
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时间:2024-05-04 13:16:30
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基本信息
| 标准名称： | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂 |
| 英文名称： | Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子技术专用材料 |
| ICS分类： | 电子学 >> 集成电路、微电子学 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1996-09-09 |
| 实施日期： | 1997-05-01 |
| 首发日期： | 1996-09-09 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 长沙韶光微电子总公司 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-08-27 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：10千字 |
| 书号： | 155066.1-13733 |
适用范围
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子技术专用材料 电子学 集成电路 微电子学
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